ターボ分子真空ポンプ UTM-FH, FW series

潤滑一段腐食防止

350L/sから世界最大の6300L/s （デジタル磁気制御ベアリングタイプ）まで豊富なバリエーション。 背圧の変化に対する安定したポンプ性能（FHシリーズ） 回転子温度を制御 し、副産物の接着性を低減するオプションの内部加熱システム（FWシリーズ）。 優れた耐腐食性表面処理（3303FH および6300FHを除く）。 必要に応じて、オプションの特殊表面処理（例えば、ニッケルめっき + 陽イオン電析法、特殊堆積フィルム、アルマイト陽極酸化）が利用可能です。 全方向に取り付け可能。 可変速度システムは、 25 ％ から100 ％ の範囲のポンプ速度を変更することを可能にする。 カップリング フリーシステムとチューニングフリーシステムを使用しているため、電源とポンプ本体を組み合わせてケーブル長を変更する制限はありません。 バッテリフリー システムを用いた停電時のバックアップ電源には、回生エネルギーによる自己発電が用いられる。 問題の発生したバッテリの交換は必要ありません。 内蔵の監視/自己診断機能と通信機能 により、集中監視システムを構成できます。 破損エネルギー吸収構造による安全設計により、 ポンプでトラブルが発生した場合の真空システムの損傷を低減できます。 エアラッシングイン試験、各種タッチ ダウン試験、ロータの強制破壊試験、異 物落下試験（Siウェーハ落下）などの実験により、高い耐久性と高い信頼性を実現しました。