ターボ分子真空ポンプ UTM series

潤滑一段

ターボ MOLECULAR PUMP UTMシリーズ UTMシリーズは、ピボットベアリング（下側）と磁気ベアリング（上側）を搭載した全ブレードタイプのターボ分子ポンプです。 回転軸受の採用により、高速回転時の機械的接触が低減されます。 また、低い振動と高い圧縮比を実現しています。上部には磁気 ベアリングを採用し、下部にはピボットベアリングを採用し、 高速回転時の機械的接触を排除しています。 これにより、軸受の交換や油交換 が不要になり、軸受の寿命が延長されます。 精巧なダイナミックバランスローターと 高効率ベアリングは、独自のブレードの設計により、高速回転、 H2やHeなどの低分子ガスの入口性能（高圧縮比）を実現します。 ピボットベアリングとフッ化物油（飽和蒸気 圧が化学的に安定して低い油）を採用し、 無限オイルがゼロに近い環境を実現します。 クリーンで超高真空の実現が可能です。 微細なダイナミックバランスローターと高 効率ベアリングを採用し、低騒音・低振動を実現。 特性/さらに適用 分析装置、研究 開発装置、実験装置の主なポンプシステム。 低分子ガス、 H2やHEなどの避難のための主なポンプシステム。 振動に敏感な分析装置および評価装置の主なポンプシステム