拡散真空ポンプ ULK series

潤滑一段

オイルディフュージョン真空ポンプULK シリーズULVACの拡散ポンプULKシリーズは、優れた性能のためだけでなく、非常に低い運転コストのために開発されています。大きな重要なバックプレッシャーのために設計された 10-2 Pa（10-4 torr）までの圧力で非常に安定した性能を 使用ホースフランジ（除く ULK-04Aおよび06Aのベントフランジ用） ポンプは簡単に洗浄できます（部品は簡単に分解できます）。 補助ポンプへの作動流体の流れを止める機構が付属しています。