潤滑真空ポンプ GGT-3, PGT series

一段

チタンジェッターポンプGGT-3、PGTシリーズ チタンゲッターポンプ（GGT-3 / PGTシリーズ）は、チタンを昇華させるために真空チャンバー内に配置されたチタン合金を介して電流を直接流します。 昇華チタンは、化学活性ガス（H2、N2、O2、H2O、CO、CO2）を吸収および除去するために周囲の壁に大きな活性金属表面を作り出します。チタン製の活性金属表面は不活性ガス（彼、Ne、Ar、CH4、C2H6および他の有機ガス）を吸収しないので、これらのユニットは スパッタイオンポンプやターボ分子ポンプなどの装置と組み合わせて使用されます。昇華チタンの吸収面は、ポンプ速度を改善し、究極の圧力を改善します。 チタン合金フィラメントは長い寿命を有する。 1 本のフィラメントは連続運転で約 75 時間（電流 30 秒 ／ 静止時 60 秒）、連続電流で約 25 時間持続します。 フランジには金属シールが使用されているため、250 ℃ の焼出し温度が得られます。 すべての構造面に対して独自の表面処理が行われ、高い真空状態に対応しています。