電離真空計 AXTRAN

熱陰極式

超高真空計 AXTRAN AXTRAN は、イオンソースとイオンコレクターの間にベッセルボックス型エネルギーフィルターを取り付けたホットカソードタイプのイオン化真空ゲージです。 この設計は、柔らかいX 線と電子刺激脱離（ESD）イオンによる残留電流を低減することにより、5 × 10-11Pa（3.75 × 10-13Torr、5 × 10-13mbar）の測定分解能を提供します。超高真空から超高真空まで 測定圧力 5 × 10-11Pa（3.75 × 10-13Torr、5 × 10-13mbar） ベッセルボックス タイプエネルギーフィルター 柔らかいX 線と残留電流を削減 ESDイオンなどの 広い圧力範囲を測定 1 × 10-2 〜 5 × 10-11Pa （7.5 × 10-5 〜 3.75 × 10-13トルル、1 × 10-4 〜 5 × 10-13mbar） 測定値出力信号 圧力は0 〜 10Vログ出力（プスドログ出力）/ 各桁内で1Vリニア 出力制御出力信号 2セットポイント 出力デジタル出力とシリアル通信 BCD/RS232C（オプション） 高エネルギー加速器などの真空装置の全圧力測定用。 UHVまたはXHVの研究作業で使用される超高真空装置または超高真空装置の圧力測定