Pirani真空計 G-TRAN SP1

デジタル

G-TRANシリーズピラニゲージセンサーユニット SP1 センサーユニットSP1は、WPシリーズのゲージヘッドと回路で構成される統合ピラニゲージで、3000 ～ 0.4Pa（22 ～ 3 × 10-3 トル/3 ～ 4 × 10-3 mbar）の範囲に対応します。 この真空計は、機能を最小限に抑えることでコスト削減と省スペース化を実現します。 これは、ディスプレイを取り外すことによって実現されます。トランスデューサスペック 圧力表示装置が必要ない場合： 真空ゲージに関連するコストを削減できます。 コントロールパネルを最小化することで、スペースを節約できます。 配線回路を最小限に抑えることができます。 メンテナンス性 センサヘッドの交換が非常に簡単です。 フィラメント素材: 白金 (Pt) 耐腐食性プラチナがイラメント素材に使用されています。 WPシリーズゲージヘッドを 使用できます現在のゲージヘッド（WP-01、02、03、16）を 変更せずに使用できます。 出力信号の制御点 2 点の使用が可能です。 出力信号 圧力読み取りは0 ～ 5V 出力（ノンリニア）です。 供給電圧 ユニットは、DC24V 入力で動作します。 半導体、光学、電子部品製造などの真空装置の低真空範囲でのプロセス制御。 真空@@ 炉などの産業機器の低真空範囲 でのプロセス制御 インラインスパッタリングやシングルウェーハ 処理装置などの複数のプロセスチャンバを備えた真空システムの低圧範囲でのプロセス制御。