Pirani真空計 SW1, ISG1

デジタル

アモスフェリックピ ラニゲージコンボ SW1 & ISG1 これは、大気圧から5 × 10-2 Pa（3.75 × 10-4 Torr、5 × 10-4 mbar）まで測定する幅広いピラニゲージで、フィラメントはフィラメントに使用されるため、大気圧でもフィラメントが機能します。幅広い 測定方法 大気圧 5 × 10-2 Pa（3.75 × 10-4 Torr、 5 × 10-4 mbar） 電源電圧 240VACに24VDCまたは100VACで供給される 耐衝撃 設計は衝撃に対して高い耐性 フィラメント材料：プラチナ（Pt） 耐腐食性プラチナはフィラメント材料として使用されます 高い エラー表示 ワンタッチ調整に使用される視認性 LED 大気調整とゼロ点調整は ワンタッチで行うことができます メンテナンス性 センサヘッドを簡単に交換できます 測定値出力信号 圧力は0 〜 10V ログ出力 制御出力信号 3 設定点 出力 シリアル通信仕様 RS485 通信（ISG1） ディスプレイユニット 可視 LED 認証付き 半導体、光学、太陽光発電、FPD、 電子部品製造に使用される真空装置の低真空範囲でのCEプロセス制御に準拠 真空 炉などの産業機器向け低真空域 でのプロセス制御 インラインスパッタリングやシングルウェーハ 処理装置などの複数のプロセスチャンバを備 えた真空システムの低圧範囲でのプロセス制御 および/または 製造プロセスのシャッハ