コールドキャットゲージセンザーユニットG-TRANシリーズ SC1
G-TRANシリーズ SC1は、マグネトロン式コールドカソード真空計です。 イラメントが使用されていないため、ゲージ交換間の長寿命が保証されます。 メンテナンスが必要です。
メンテナンスの容易さは、所有権のコストを削減します。トランスデューサ仕様
圧力表示が不要な場合は、以下の利点を
達成することができます。
ディスプレイが排除されているため、真空ゲージのコストが削減されます。
小型解放コントロールパネルスペース
配線が削減されます。
メンテナンスのメンテナンスが大幅に簡素化
され、フィラメントは
大気圧にさらされること
による損傷なし制御出力信号 2セットポイント出力信号圧力読み取り値は0 〜 10Vログ出力(ノンリニア出力)電源電圧 DC24V
SPECIALで動作 特長 / FURTHER APPLICATIONS
半導体、光学系、電子部品の製造に使用される精密
真空装置の
圧力範囲でのプロセス制御炉などの産業機器の低真空範囲でのプロセス制御
インラインスパッタリングやシングル
ウェーハ処理装置など、複数のプロセスチャンバを備えたシステム
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