分光学エリプソメータ UNECS series

UNECS シリーズは、薄膜の屈折率と厚さを迅速かつ正確に測定する分光楕円体の一種です。 独自の測定方法を採用し、コンパクトサイズと高速測定を実現します。 ポーテーブルタイプ、自動ステージタイプ、内蔵タイプなど、STRong 製品ラインがあります。高速測定： スナップショット測定方法を実現し、高速 測定はポイントあたり20msです。 可視分光範囲： スペクトル波長範囲を選択できます。 標準タイプは 530nm 〜 750nmで、可視スペクトルタイプは380nm 〜 760nmです。 コンパクトセンサーユニット： このセンサーユニットは軽量で非常にコンパクトです。 回転機構を持たない光学素子で構成されています。 また、定期的なメンテナンスは必要ありません。 強力な 製品ライン：ポータブルタイプ、手動/ 自動ステージタイプ、内蔵型、大型基板タイプなどの強力な製品ラインがあります。 特殊機能/さらに、 透明または半透明の薄膜の 厚さ（D）、反射性の測定 指数（N）および消光係数（K）。 （酸化 膜、窒化フィルム、フォトレジストフィルム、ITOフィルムなど）