電圧発電機 DPG-30 R

DPG-30Rは、スパッタリングアプリケーション用の30kW DC 発電機で、信頼性の高い部品と回路で設計されています。 また、アーク生成時に直ちに出力を中断する低アークエネルギー回路を標準仕様として搭載。 専用コントローラと接続することで、30kW ～ 240kWの発電機システムとして使用できます。信頼性向上の信頼性の 高い部品と回路で設計されています。 低アーク エネルギー回路を搭載アーク 発生時に直ちに出力を中断する低アークエネルギー回路を標準仕様として装備。 広範囲電力出力制御 単一コントローラ（DP GMC120R）で最大 120kWまで出力し、最大 4 台の発電機（DPG-30R）を同時に制御できます。 シングルコントローラ（DP GMC240R）で最大 240kWの出力と最大 8 台の発電機（DPG-30R）を同時に制御できます。 冷却水は必要ありません 空冷。 広い範囲の入力電源 AC380 ～ 480V ± 10%。 コントローラなし動作 30kW 以下の場合は外部制御端子を使用してコントローラなしで動作できます。 特性/以下の用途 フラットパネルディスプレイスパッタリング 半導体スパッタリング 工業用コーティングスパッタリング