機能発電機 DPG-5P/DPG-10P

パルス電圧除荷

パルスされたDCパワージェネレータDPG-5P/DPG-10P DPG-5P/10Pは、リアクティブスパッタリングのための5kW/10kWのパルスDC発電機です。 この発電機は、マイナス出力電圧をプラス電圧に変更し、ターゲット表面の蓄電電子電圧を放電します。 これにより、歩留まりとスループットの向上が実現します。 高スループット異常な 放電を減らすことで高電力入力を可能にする 基板 の損傷を軽減アークによって生じる基板の損傷を低減 することが可能な反転パルス周波数可能 な範囲：10kHz ～ 250kHz 大きい マスター/スレーブ接続を通じて 最大6ユニットまで並行 して動作可能 (同じモデルが利用可能) DC 出力に対応 パルス機能を取り消し、DC SPECIAL 機能 ／ F PDリアクティブスパッタリング装置用 リアクティブスパッタリング装置を出力できます 工業用コーティング用 カラーTFT 用リアクティブスパッタリング装置