焼きなまし炉 MILA 5000

ミニランプANNEALER MILA 5000 ミニランプアニーラー 急速熱処理（RTO）は、半導体、強誘電体、その他の薄膜装置をアニーリングするための重要な加熱技術となっています。 しかし、最近まで、この急速な加熱/冷却技術には大規模で高価な生産システムしか利用できなかったため、特に小さなサンプルでは研究開発の作業が困難になりました。 このニーズに対応するために、アドバンスリコはMILA-5000ミニランプアニーラーを開発しました。 このコンパクトなテーブルトップRTPシステムは、金リフレクターIR 炉の周りに構築され、高精度の温度コントローラを含んでいます。 オプションのポンピングガス入口装置を装備すると、MILA-5000は小さなサンプルに対する大規模な生産規模のRTPユニットと同じ性能を、わずかなサイズとコストで提供できます。