乾式真空ポンプ LS Series

回転翼一段

-大気圧付近の高速ポンプ速度により、ポンプのダウン時間が大幅に短縮されます。 -内蔵のECO-SHOCKテクノロジーにより、クリーンなアプリケーションでの消費電力を大幅に低減します。 -内蔵サイレンサーは、61dB（A）以下の 低走行コストを実現 -120から1200m3/h クリーンプロセス（「Cタイプ」）間のポンプ速度を備えた4つのモデルで利用可能：空気やN2のようなガスを含むクリーンプロセス用（LS * * * A-C） -TMPバッキングポンプなど -ロードロックルーム - ラミネート -蒸着 -スパッタリング 光工程 (L 型): 蒸気やその他の困難なガスを含む軽工程 (LS * * * A-L) -一般産業用途 -アッシュ -凍結乾燥 -真空乾燥