高真空用バルブ 151 seriesゲート空圧式絶縁
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特徴
- タイプ
- ゲート
- 作動
- 空圧式
- 機能
- 絶縁
- ボディー
- アルミニウム
- 応用
- 高真空用, 半導体産業用
- その他の特徴
- 複動
- 呼び径
63 mm, 100 mm, 160 mm, 200 mm, 250 mm
(2.48 in, 3.937 in, 6.299 in, 7.874 in, 9.843 in)- 圧力
最大: 7 bar
(101.5 psi)最少: 4 bar
(58 psi)- 温度
最大: 250 °C
(482 °F)最少: 0 °C
(32 °F)- 流量
480 l/s, 1,700 l/s, 6,000 l/s, 12,000 l/s, 19,400 l/s
(126.8 us gal/s, 449.09 us gal/s, 1,585.03 us gal/s, 3,170.06 us gal/s, 5,124.94 us gal/s)
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