ゲートバルブ 651 series電動式絶縁調圧
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特徴
- タイプ
- ゲート
- 作動
- 電動式
- 機能
- 絶縁, 調圧
- ボディー
- アルミニウム, アルマイト処理されたアルミ製
- 応用
- 半導体産業用
- その他の特徴
- 腐食環境用, モーター駆動, ステッピングモーター付き
- 呼び径
最大: 400 mm
(15.748 in)最少: 160 mm
(6.299 in)- 圧力
最大: 7 bar
(101.5 psi)最少: 4 bar
(58 psi)- 温度
最大: 120 °C
(248 °F)最少: 0 °C
(32 °F)
詳細
腐食性半導体およびFPDプロセス（エッチングなど）および蒸着プロセス間の洗浄プロセス用に最適化されています。 制御モードでは、バルブは実質的に粒子なしで動作します。 メンテナンスは簡単かつ迅速に行うことができます。
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