ゲートバルブ 031 series空圧式ロック可能アルミニウム
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特徴
- タイプ
- ゲート
- 作動
- 空圧式
- ボディー
- ロック可能, アルミニウム
- 応用
- 半導体産業用
- その他の機能
- 移動用
- その他の特徴
- 複動式
- 呼び径
最大: 420 mm
(16.535 in)最少: 32 mm
(1.26 in)- 圧力
最大: 7 bar
(101.5 psi)最少: 3 bar
(43.5 psi)- 温度
最大: 40 °C
(104 °F)最少: 0 °C
(32 °F)
詳細
200そして300のmmのウエファーのための半導体のプロダクション システムの負荷ロックそしてプロセス部屋の分離のため。-閉鎖した位置-低い衝撃締められて-で機械的に差動圧力タブは代りにかいま見る標準的なSU （選択）を
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