ゲートバルブ 032 series空圧式ロック可能ステンレス製
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特徴
- タイプ
- ゲート
- 作動
- 空圧式
- ボディー
- ロック可能, ステンレス製, アルミニウム
- 応用
- 半導体産業用
- その他の機能
- 移動用
- その他の特徴
- 複動式
- 呼び径
最大: 500 mm
(19.685 in)最少: 32 mm
(1.26 in)- 圧力
最大: 7 bar
(101.5 psi)最少: 3 bar
(43.5 psi)- 温度
最大: 40 °C
(104 °F)最少: 0 °C
(32 °F)
詳細
200、300そして450のmmのウエファーのための半導体のプロダクション システムの負荷ロックそしてプロセス部屋の分離のため。-低い衝撃-保護されたふいご-長い生命タイムのロックされた気学的に（選択） -容易なゲート交換
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