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ゲートバルブ 053 series
空圧式アルミニウム半導体産業用

ゲートバルブ - 053 series - VAT Vakuumventile AG - 空圧式 / アルミニウム / 半導体産業用

ゲートバルブ - 053 series - VAT Vakuumventile AG - 空圧式 / アルミニウム / 半導体産業用 - 画像 - 2

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特徴

タイプ

ゲート

作動

空圧式

ボディー

アルミニウム

応用

半導体産業用

その他の特徴

複動, 腐食環境用

呼び径

50 mm, 336 mm, 480 mm, 500 mm
(1.969 in, 13.228 in, 18.898 in, 19.685 in)

圧力

最大: 7 bar
(101.5 psi)

最少: 4 bar
(58 psi)

温度

最大: 120 °C
(248 °F)

最少: 0 °C
(32 °F)

詳細

負荷ロック/プロセスモジュールの分離のため。300mmおよび450mmの半導体の塗布のため。アクチュエーター他の電磁弁の電圧（標準的な24VDC）挿入物他の密封材料、例えばFFKM、VMQのFVMQのゲートのシール加硫させたシール（標準）の代りのゲートのOリングのシールゲートのステンレス鋼二重位置表示器

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