バタフライバルブ 615 series電動式絶縁調圧
お気に入りに追加する
商品比較に追加する
特徴
- タイプ
- バタフライ
- 作動
- 電動式
- 機能
- 絶縁, 調圧
- ボディー
- ステンレススチール製, アルマイト処理されたアルミ製
- 応用
- 半導体産業用
- その他の特徴
- 高圧
- 呼び径
40 mm, 50 mm, 63 mm, 80 mm, 100 mm
(1.575 in, 1.969 in, 2.48 in, 3.15 in, 3.937 in)- 圧力
1,000 mbar
(14.5 psi)- 温度
50 °C, 120 °C
(122 °F, 248 °F)
詳細
半導体、FPDおよび工業プロセスの特にCVDシステム。
アクチュエーター
超高速のアクチュエーター（90氏）
構成可能PI変数のコントローラー
2アナログ出力が付いているRS232インターフェイス
イーサネット インターフェイス
DeviceNetインターフェイス
論理インターフェイス
Profibusインターフェイス
RS-485インターフェイス
CCリンク インターフェイス
EtherCATインターフェイス
電源異常のSPS = ± 15V DCセンサーの電源）
PFO =電源異常の選択（弁は自動的に閉まるか、または開く
弁
直径の体言:ISO-FとのISO-KF DN 63/80/100とのDN 40/50
他のフランジ（JIS、ASA-LP、CFF）
顧客はフランジを指定した
アルミニウム堅い陽極酸化されるまたはnickel-plated
他の密封材料
弁の温度80°C、100°C、120°Cのための絶縁材が付いているヒーター
---
カタログ
この商品のカタログはありません。
VAT Vakuumventile AGの全カタログを見る
