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バタフライバルブ 615 series
電動式絶縁調圧

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特徴

タイプ: バタフライ
作動: 電動式
機能: 絶縁, 調圧
ボディー: ステンレススチール製, アルマイト処理されたアルミ製
応用: 半導体産業用
その他の特徴: 高圧
呼び径: 40 mm, 50 mm, 63 mm, 80 mm, 100 mm
(1.575 in, 1.969 in, 2.48 in, 3.15 in, 3.937 in)
圧力: 1,000 mbar
(14.5 psi)
温度: 50 °C, 120 °C
(122 °F, 248 °F)

詳細

半導体、FPDおよび工業プロセスの特にCVDシステム。アクチュエーター超高速のアクチュエーター（90氏）構成可能PI変数のコントローラー 2アナログ出力が付いているRS232インターフェイスイーサネットインターフェイス DeviceNetインターフェイス論理インターフェイス Profibusインターフェイス RS-485インターフェイス CCリンクインターフェイス EtherCATインターフェイス電源異常のSPS = ± 15V DCセンサーの電源） PFO =電源異常の選択（弁は自動的に閉まるか、または開く弁直径の体言:ISO-FとのISO-KF DN 63/80/100とのDN 40/50 他のフランジ（JIS、ASA-LP、CFF）顧客はフランジを指定したアルミニウム堅い陽極酸化されるまたはnickel-plated 他の密封材料弁の温度80°C、100°C、120°Cのための絶縁材が付いているヒーター

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