MBE装置 GEN10™

GEN10 MBE システム 自動ウエハ搬送により有効なシステム利用が可能 GEN10™ MBEシステムは、実績のあるプラットフォームにおける最も経済的で柔軟性のあるクラスタ ツール装置により、最高3つまでの構成可能な、材料に特化した成長モジュールが可能になります。これにより、有効なシステム利用が可能となり、複数の研究者が同時にシステムを使用し、無人で成膜およびキャリブレーションができるようになります。これをVeecoコンポーネント技術に結び付けることが、MBEコミュニティがアプリケーションの如何にかかわらずGEN10™ MBEシステムを選択する理由の重要な要素となっています。 自動ウエハ移送により有効なシステム利用が可能となり、複数の研究者が同時にシステムを使用し、無人で成膜およびキャリブレーションを行うことが可能 最大3つの成長モジュール追加への経済的なアップグレートパス 材料に特化した複数の成長モジュールで構成可能なクラスタ アーキテクチャを採用しているので、1台の真空システムで異なる材料の成長を同時に行うことができます。 大量生産MBE システムへの直接移行が可能