MBE装置 GEN200®

GEN200 MBEシステム 市場で最もコスト効果が高く能力の大きいマルチ4インチ生産MBEシステムです VeecoのGEN200® MBEシステムは、現在の市場で最も費用効果と能力の高いマルチ -4インチ生産MBEシステムです。本装置は、ポンプレーザー、面発光レーザーおよびヘテロ接合バイポーラトランジスタ（HBTs）のような装置用のGaAsまたはInPベースのウエハ成膜において、優れたスループット、長い稼働時間、優秀なウエハ品質をお届けします。 最低コストで4 x 4インチエピウエハの成長を実現 モジュラー アーキテクチャで、類似のMBEシステムより大幅に小さい設置面積を実現 最大2つの成長モジュールが可能で、スループットの増加、または異なる材料の処理が実現 オプションのバルクヘッドを取り付けることにより、無菌室スペースが最適化 業界で最も革新的で、信頼できるシステムハードウェア、ソースおよびコンポーネントを組み込み