GEN930 研究開発 MBE システム
費用効率が高く、柔軟性のあるソリューションで、実証済みの優れた原料品質を実現
GEN930® MBEシステムは、窒化物および酸化物アプリケーション用の直接ポンプ カップリングと共に、III-VまたはII-VI族原料の開発に最適です。モジュール設計により、費用効率が高く、柔軟性のあるソリューションとなっており、実証済みの優れた原料品質を実現します。また、オプションの成長プロセスの in-situ モニタリング用分析装置も、ご依頼に応じて簡単に組み込むことができます。
費用効果的なモジュラー設計により、システム機能を必要に応じて拡張する柔軟性を実現
多用途プラットフォームの特徴は、いくつかの in-situ モニタリング技術にあります。RHEED、高温測定、楕円偏光法、残留ガス分析器、光学磁束モニタリング、および反射分光法
Veeco GEN II MBEシステムの中心的技術を組み込み—GaAsとAlGaAsの性能記録のホルダー
業界で最も革新的で信頼性の高いソースおよびコンポーネントを内蔵