イオン源 DC

6cm×30cm 直流（DC）イオンソース 大型基板または大型基板のバッチ用リニア ソース 大型独立基板または大型基板のバッチを使用して実績のあるVeecoのリニア グリッドDCイオン ソースは、高い均一性と高信頼性を備えたイオン ビーム蒸着プロセス プラットフォームに最適です。直線状または円筒形基板ホルダーに対する優れたリソースです。 Veeco 社の世界有数の円形状イオン ビーム ソースと同じ革新的な設計、品質、および信頼性が特徴 均一なプラズマと高電流密度を実現 ソースあたりの公称最大ビーム電流 500 mA まで 50 ～ 2000 eV の広範囲なビーム エネルギーに対応 電源オプションにより、800 mA までのビーム電流が可能