MBE装置 GENxcel R&D

GENxcel研究開発MBEシステム 直径 4 インチまでの基板上に高品質のエピタキシャル層を形成 新しいGENxcel™システムは、2013年8月の発売以来、最もよく売れているMBEシステムである、受賞歴のあるGENxplor™を拡張したものです。このシステムでは、GENxplorシステムの3インチ機能に比べて、単一の4インチ基板で質の高いエピタキシャル成長が可能です。GENxcelは、使いやすい手動搬送システムと12個のソース ポートを備えています。また、最新の電子機器が単一のフレーム設計に完全に統合されるため、研究所の設置効率を最大限に高めます。 直径 4 インチまでの基板上に高品質のエピタキシャル層を形成 他に類を見ない単一フレーム アーキテクチャで、使いやすさ、ソースへのアクセス性、および保守性を向上 効率的な一体型設計で手動システムを内蔵電子回路と統合することにより、他のMBEシステムと比べ 40%のラボ スペース節約を実現 GaAs、窒化物、酸化物など、さまざまな材料の最先端研究に理想的 Molly® ソフトウェアで、レシピ作成、自動成長制御、データ常時記録を統合 オプションのNova™超高温基板ヒーターにより、1850°で定評ある性能を実現 GEN20™、GEN200®、GEN2000® の各 MBE システムへ直接拡張可能