自動バルブポジショナー
精密で再現可能な自動フラックス制御
Veeco SMC-II自動バルブ ポジショナーにより、Veecoバルブド クラッカーから生成されるフラックスのローカル手動(キーパッド)制御または自動(コンピュータ)制御が可能になります。ソースのニードル バルブの位置決めが完全に自動化されるため、自動バルブ ポジショナーのリモート インターフェースを介して、フラックスの制御とバルブ位置のリモート制御ができます。サーボ モーター アセンブリには、バルブド クラッカーのニードル バルブ軸に接続するリード ネジ アセンブリを介して制御する、実際のバルブ位置決め機能があります(したがって、フラックス制御もできます)。
自動バルブ ポジショナーのLCD正面パネルから、サーボ モーター機能の構成、校正および直接ユーザー制御ができます。ユーザーは、画面を循環的に操作して、モードを変更し、パラメータを調整し、バルブの移動と自動ホーム復帰機能を実行できます。
自動バルブ ポジショナーには、Veecoバルブド クラッカーでバルブを制御するための3つの方法が用意されています。
手動モード:サーボ モーター アセンブリに取り付けられたらせん状のカプラーを回転することにより、バルブを自由に移動します。コントローラはデジタル マイクロメータとして動作します。
ローカル制御:事前定義された4つの位置へのバルブの移動とともに、コントローラの正面パネルのキーパッド制御を使用して、バルブを少しずつ「ジョグ」する機能があります。
リモート制御:自動バルブ ポジショナーのリモート インターフェースに接続するシステム制御コンピュータに搭載された、VeecoのMolly成長制御ソフトウェア(またはその他のプロセス制御ソフトウェア)によるバルブの移動。