チャンバー炉

酸化制御空気下エレクトロニクス産業用

炉当社の炉は、顧客の能力とニーズに応じて完全に異なる制御可能な加熱ゾーンを持つ両方のプロセスのための便利なツールと設計で完全に自動化されています。 当社の装置は、直径100mm、150mm、200mm、300mmのウェハタイプ用です。 ATMOSPHERIC FURNACES Vegatecは、マイクロエレクトロニクス、ナノエレクトロニクス、太陽光発電の実験室および産業のためのすべての自動化システムを備えた大気炉を設計し、製造しています。 これらの炉は以下の通りです。 酸化炉（湿式酸化および乾式酸化） 拡散炉 ドーピング炉 大気炉の一般的な特徴 使いやすく、使いやすい設計 炉チャンバーのおかげでメンテナンスが容易で、高純度石英で作られたカンチレバータイプのサンプルホルダーは、 クラス10クリーンルームまで作業することができます 高品質のコンポーネントのおかげで長寿命 個別に制御可能な加熱ゾーン 自動化インタフェースの簡単な使用 異なるコンパクトな設計のための積み重ね可能な炉チューブ同時にプロセス 手動または自動ロード能力 各顧客の 研究室または産業規模に応じて容量