熱式質量流量計 SmartTrak®

質量ガス用ステンレススチール製

SmartTrak®サーマルマスフローメータとマスフローコントローラは、スムーズで安定した、正確で再現性のあるガスマスフローコントロールを提供するために設計された、真のマルチガスデジタルMFCです。 キャピラリー技術に基づくガスマスフローメータとコントローラで、最大0.5%のフルスケール精度 接液部は全てステンレス製で、表面は0.8 Ra µmの電解研磨仕上げです。クリーンルームでの組み立てが可能 各ユニットは10種類のガスが予めプログラムされており、お客様で選択可能 単位、ガス、出力、レンジなどを選択可能 高度なエンジニアリングにより、選択されたすべてのガスの精度が保証されます。 ほとんどの腐食性ガス、アグレッシブなドライガス、クリーンガスに対応 オプションでローカルディスプレイとローカルセットポイント/コンフィギュレーションが可能 アナログ通信とRS232通信を各ユニットに標準装備 温度に依存しないアクティブな温度補償 強力な直接駆動バルブ オプションでModbus通信が可能 アナログ入力/出力とI/Oアラーム接点を備えたModbusモジュール エラストマーとバルブシール材を幅広く選択可能 長期安定性センサー 無償のコンフィギュレーションソフトウェア（MS Windows用 大きなバルブにより非常に低い圧力差が可能 すべてのユニットがNISTトレーサブルな高精度一次標準器により校正済み