暖房システム STREAMLINE™

半導体製造装置のガスライン、フォアライン、排気ラインの加熱と熱プロセスの制御は、狭いエリアに多数の部品と迷路のような配線が配置されているため、一般的に複雑です。これらの要因により、設置やメンテナンスが面倒で、時間がかかり、コストも高くなります。また、今日の顧客は、温度均一性を確保するために、システムの健全性に関するより多くの熱データを必要としており、これはラインを稼働させ、円滑に稼動させるために必要である。さらに、半導体市場のビジネスサイクルにより、需要に供給が追いつかない場合、リードタイムが長くなることもあります。こうした問題を含め、半導体製造装置エンジニアの仕事はかつてないほど困難なものとなっている。 半導体市場での長年の経験と深い専門知識により、ワトローは最近、特許取得済みのAdaptive Thermal Systems® (ATS™)技術を搭載したSTREAMLINE™ガスデリバリーサーマルシステムソリューションを開発しました。ワトローのソリューションは、温度の均一性、フットプリントの縮小、広範な診断、開発期間の短縮を提供する革新的でダイナミックな完全なサーマルシステムです。 ワトローはヒータから厄介なコンポーネントを取り除き、それらの能力と機能をEZ-ZONE® RMT温度コントローラに移し、わずか2本のワイヤで各ヒータの過熱安全保護を統合した閉ループ制御を提供します。これは設置ミスを減らし、トラブルシューティングを容易にします。