ゲートバルブ CCQ

空圧式制御ステンレス製

GCQシリーズ空気圧式高真空ゲートバルブ、CCQシリーズ空気圧式超高真空ゲートバルブは、真空空気流路の接続や遮断に使用します。 a) 自動操作の場合、本体側に駆動部を設計し、バルブの高さ寸法を大幅に削減し、装置スペースの製造コストを削減する。 b) 適用媒体は空気と非腐食性ガスである。CCQシリーズは、450℃の焼成温度に耐えることができ、通常、イオンポンプや高温真空環境に使用されています。 適用範囲 - 105～6.7×10-5Pa（GCQ シリーズ） 105～6.7×10-8Pa（CCQシリーズ） バルブリーク率 - ≤1.3×10-5Pa.L/S（GCQ シリーズ） ≤1.3×10-8Pa.L/S（CCQシリーズ）≦1.3×10-8Pa.L/S（CCQシリーズ 設置状況 - ≤2.7×103Pa（DN≥320 Proposal＜1000Pa） 電源供給 - ac220v、ac110v、dc24v 開閉時間 - 3~10s 設置状況 - 任意、HorizontalSideStateIs The Best。 本体、ディスク - ステンレス GCQシリーズシール - NBR、Viton、Bellows（シャフトシール） CCQシリーズシール - 無酸素銅、ベローズ、ディスクバイオンシール