GU-PSQシリーズは、高真空Vポート調整用ボールバルブで、一体型構造で超薄型のコンパクトな設計です。特に結晶炉では、フラッパーバルブとバタフライバルブの組み合わせではなく、ボールオリフィスを任意の角度に加工し、ポンピング速度を調整することが可能です。
真空システムの真空ライン媒体を遮断するために使用することができ、また、圧力条件下で使用することができます。
空気圧アクチュエータは複動型と単動型スプリングリターン型があり、外部入力信号で空気圧駆動を制御してインテリジェントポジショナを駆動することもできます。
電気アクチュエータは、オプションのオンオフアクチュエータと調節制御タイプで、調節制御を実現することができます。
適用範囲
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40×105~6.7×10-5Pa
バルブリーク率
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≦6.7×10-5Pa.L/S.
設置状況
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いずれも
動作時間(電動アクチュエーター)
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4s、10s、20s、30s (GUD-PSQシリーズ)
電源供給
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一般:AC220V/50HZ
オプション:AC110V、DC24V
シール
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PTFE、PPL
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