クロマティックフォーカスラインセンサーは、たくさんのクロマティックセンサーを直線的に配置することで、3秒以内に最大100万点の測定値を極めて高速に取り込むことができます。クロマティック測定原理により、低い測定誤差と表面特性からの高度な独立性を保証します。応用分野としては、乱反射するワーク、反射するワーク、透明なワークなどがあります。
- 測定不確かさと測定範囲を異なるレンズでそれぞれのアプリケーションに適応させる
- 軸方向の測定範囲が広いため、ワークの形状に合わせて装置の軸を追跡する必要がない場合が多い。
- ワーク表面のラスターイメージを素早く作成できるため、他のセンサーでさらに測定するためのローカル座標系を形成することができます。
- 透明な材料の層厚も測定可能(オプション)
測定範囲
0.2mm~4mm
測定精度
プロービングエラー:最大1μm
機能概要
評価ボックスa)から、広帯域光源b)の光がファイバーカプラーc)、リニア光ファイバーd)、結像光学系e)を介してワーク(位置1)、2)または3)に投影されます。)反射光の強度は、ワークからの距離に対応する色で最も高くなるf)。これは、分光器g)を用いて、ライン上のすべての測定点について同時に評価される。
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