光学イメージセンサ CFZ

3つの空間方向すべてにおいて、センサーのミスアライメントがない高精度な測定が可能 複数のセンサーを1つのマルチセンサーにまとめることで、使い勝手が向上し、センサー交換サイクルが不要になるため、測定時間の短縮が可能になります。異なるセンサー原理を持つ特許取得済みのCFZは、高い柔軟性を持っています。センサーのオフセットがないため、多くの場合、より小型でコスト効率の高い測定機を使用することができます。 - テレセントリックズーム光学系の高倍率レンジによる低い測定誤差 - インテリジェントな輪郭画像処理により、測定ウィンドウ内の複数の幾何学的要素やフリーフォームを検出します。 - 色収差の測定原理により、表面特性に大きく依存しない距離測定が可能 - 機械的な動きを伴わない素早いセンサー交換 - クロマチックセンサーの広い測定範囲により、ワーク表面にセンサーを移動させることなく高速スキャンが可能となり、測定時間の短縮を実現 - 透明な素材の膜厚も測定可能（オプション） 測定範囲 1mm 測定精度 許容プローブ誤差0.75μmまで 機能性 評価ボックス a) から広帯域光源 b) の光がファイバーカプラー c) 、光ファイバー d) 、結像光学系 e) を介してワーク (位置 1), 2) または 3) に照射されます。）反射光の強度は、ワークf)からの距離に対応する色で最も高くなる。これは分光器g)で評価される。デバイダーミラーh)を介して、画像処理センサーi)（照明は図示せず）の追加統合が行われる。