完璧に統合されたマルチセンサーシステム
VideoCheck® HAは、VideoCheck® FBの高精度バージョンで、複数の独立したセンサー軸を装備することもできます。特許取得済みのラスタースキャニングHD動作モードでは、移動中に撮影された単一画像を重ね合わせて、最大20,000メガピクセルの解像度を持つ全体画像を形成するため、高精度で「画像上」の高速測定が可能です。VideoCheck® HAは、特許取得済みのWerth Fiber Probe®などの他の高精度センサーにも最適で、幅広い用途に使用できます。半導体業界向けにはSEMI認証が可能です。
- 指定された長さ測定誤差を守れば、エアベアリング式グラナイト測定ステージに最大100kg、オプションで250kgの荷重をかけることができます。
- 特に重量のあるワークピースの測定には、透過光ユニットを取り外すことができます。
- 例えば、SP80触覚センサーとロータリー/チルトヘッドは、同じラム上のSP25 3Dスキャニングプローブと交換することができ、2番目のラムは光学式および触覚光学式マルチセンサーシステムを装備しています。
- センサーとワークの衝突リスクの低減
- 2台目のラムも後付け可能
- 精度
許容測長誤差0.25 µmまで
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