ラボ用マルチセンサーシステムを完璧に統合
特殊なエアベアリング技術、統合防振システム、温度安定性の高いスケールと駆動システム、高性能制御システムにより、高精度(超高精度)マルチセンサー座標測定機の達成可能な長さ測定誤差は、コンマ数μmの範囲に収まっています。主な用途は、精密ワークや3次元微細形状です。
- 精度を最適化した、固定ブリッジ付き花崗岩ソリッド構造
- このクラスでは他に類を見ない400 mm x 400 mm x 250 mmの測定領域
- テレセントリック精密光学系と強力な輪郭画像処理による高精度光学測定
- 特許取得の触覚光学式マイクロプローブWerth Fiber Probe®やChromatic Focus Pointセンサーなどの高精度センサーを追加搭載。
- 高速コントラストオートフォーカスによるZ軸方向の高精度測定
測定精度
許容測長誤差 0.15 µm 以下
- 旋盤加工部品
- スプリング
- コンタクトレンズと金型
- プラスチック光学部品
- LEDアレイ
- ミラー・光学フィルター
- スピナレット
- プラグコネクション
- リングギア、ベベルギア
- 深絞り・打ち抜き工具
- ウェハー
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