リニア変位センサ CFP

非接触式光学式共焦クロマティック

色彩測定原理により、低い測定誤差と表面特性からの高い独立性が保証されます。スキャニング中は、短時間に多くの測定ポイントを捕捉することができます。この結果、測定の不確かさや測定時間に高い要求がある場合でも、幅広い用途に対応することができます。厳しい公差のサイズだけでなく、モールドや粗さも測定できます。 - 敏感で弾性のあるワークの測定 - センサの測定範囲が広いため、ワーク表面に装置の軸を移動させることなく高速スキャンが可能で、測定時間がさらに短縮されます。 - 反射面や透明面の測定が可能 - 透明材料の層厚測定も可能（オプション） 測定精度 許容プロービングエラー 0.25 µm まで 機能概要 評価ボックスa)から、広帯域光源b)からの光がファイバーカプラーc)、光ファイバーd)、結像光学系e)を介してワーク（位置1）、2）、3））に照射されます。反射光の強度は、ワークからの距離に対応する色で最も高くなるf)。これは分光器g)を介して評価される。