円筒形距離センサ WIP

光ファイバー非接触式小型

WIP は、形状、金型、粗さを高精度に測定する非接触型光ファイバーセンサーです。プローブの形状は、ワーク表面をプロービングするために必要な出口角に関して、個別に適合させることが可能です。WIPはプローブの寸法が小さいため、特に小型でアクセスが困難な深い形状の測定に適しており、微細形状の測定におけるワースの特別な専門技術の一部となっています。 - RSバージョンでは、回転式プローブによる高精度な真円度測定が可能です（特許）。 - ファイバーガイドが金属製のチューブの中に入っているため、プローブの長さが非常に長くなり、大きな測定深度を得ることができます。 - プローブの研磨により、測定ビームの出射角が0°から90°の間で決定されます。90°のプローブは、例えば、小径穴の側面測定に使用されます。 測定精度 プローブの許容誤差0.2 µmまで 機能性 スーパールミネッセントダイオードa)と測定プローブc)をファイバーカプラーb)で接続し、プローブ出口面d)とワーク表面e)で反射した光の時間差情報を測定します。c)とワーク表面e)は干渉計（結像光学系f)、ビームスプリッターg)、ミラーh)とi)、シリンダーレンズj)）によりラインカメラk)に映され、その距離により判定がなされます。