非接触式共焦点センサー NFP

ナノフォーカスプローブは、ワークの表面を3次元点群として捉え、微細構造上のサイズ、型、位置、粗さなどを評価することが可能です。迷光を抑制することで、サブミクロンオーダーのプロービングエラーを持つ反射面でも、信頼性の高い3次元形状測定が可能です。また、コンフォーカル光学センサーは、傾斜角の大きい急峻な面でも良好な結果を得ることができます。 - さまざまなレンズにより、作業内容に合わせてセンサーを調整可能 - センサーは座標測定機の全測定領域で使用でき、測定結果は同じ座標系でリンクさせることができる - 隣接する複数の部分点群から、ほぼ精度を落とすことなく、全面を算出することができます。 測定範囲 Z軸を内蔵した「画像内」測定 250 µm 測定精度 最大0.15 µmまでの許容誤差 機能性 a) 照明、b) カメラ、c) ピンホール、d) 結像光学系の付いたプローブヘッドをワークe) に対して移動させることにより、光点f), g) の強度をデフォーカスにより変化させることができます。デフォーカスされた光点f)の重なりは，大きな距離g)によって回避される。