高純度水は、多くの産業および医療用途、特に医薬品製造、電子機器製造、医療用点滴に使用される水などの注射用水(WFI)において必要とされています。高純度水を製造する方法は多岐にわたり、例えば、以下のようなプロセスの中から1つまたは一連のステップを含む場合があります。
- 化学処理
- 脱イオン化
- 蒸留
- 蒸気圧縮蒸留
- 濾過
- 順浸透
- 逆浸透膜
- 紫外線殺菌
精製水の技術規格は、ASTM、ISO、USPなどで定められている。
意外に思われるかもしれませんが、電子工業用の純水規格は、WFIの純水規格を大きく上回っていることが多いのです。また、タイプAの実験用水におけるエンドトキシンとバクテリアの限界値は、それぞれWFIの8倍、10倍と低い値になっています。ASTMのマイクロエレクトロニクス用水タイプ1.2は、実験用水と同様の微生物制限値を持ち、全有機炭素と導電率の仕様もWFIのそれをはるかに下回っています。
精製過程で除去すべき汚染物質には、病原体、その他の微生物、塩類、エンドトキシン(細菌の細胞壁に存在し、細胞壁が崩壊すると放出される熱に不安定な毒素)などの浮遊・溶解性固形物が含まれる。混入した液体は除去しなければならず、溶解した気体も除去する必要がある場合がある。
クリーンな状態を保つ
純水製造後は、純水の状態を維持することが重要である。純水はポンプで送られ、保管される際に、様々な物質やプロセス条件と接触する。
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