半導体、フラットパネルディスプレー、太陽光発電
高純度ガスや半導体用特殊ガス向け(ガス貯蔵タンク、ガスパネル、ガスボックスなど)
特徴
コンパクトデザイン
ATEXおよびIECExの zone2 で使用できる認証を取得
保護等級 IP67(NEMA 4) また横にゼロ調節ボタン付
優れたEMC性能
積極的な温度補償
製品説明
コンパクトなデザイン
WUC-1xシリーズは、コンパクトなデザインであるため狭隘なスペースにも設置できます。
WUC-15と16は、セルフドレン構造を有しております。特別設計の薄膜センサーはネジ接続や溶接接続時の負荷によるセンサー破損のリスクを無くします。
多彩性
IP67と高い保護機能を有しておりますので、屋外タンクや特殊ガスなどの過酷な条件下でもお使いいただけます。
本シリーズの製品は危険場所zone 2 でのご使用を前提に設計され、また温度等級T6でもご使用になれることから、PH3(ホスフィン)などの発火温度の低い流体でもご使用になれます。
信頼性
圧力が上下する頻度が激しいお使い方では、ジュールトムソン効果や外部環境の変化から高い温度になることがあります。確実な温度補正機能により、この状況を感知し、その影響を最小限にいたします。そのため、安定的な計測を実現しています。
横にあるゼロ調整ボタンは密閉構造のため、保護等級IP67の性能が維持されます。シンプルな操作が可能で、また意図しない操作から保護されています。
すべての接液部材質には316LSS VIM VAR材を使用し、また特別設計の薄膜圧力計測セルは DIN 2.4711 (UNS R30003)を使用しております。組立工程前に、すべての部材は電解研磨し最新設備にて洗浄を行います。
本製品は出荷前に100%試験を行い、SEMITMの規格に準拠した、漏れ過圧精度クリーン度の試験を行い、出荷いたします。