差圧センサ BW-MD

シリコン航空産業用石油化学工業用

北威BW-MDシリーズの高安定単結晶シリコンセンサチップは、バッチ式で国際市場に投入され、石油化学、冶金、電力、産業オートメーション、航空宇宙、Internet of Thiなどの分野で広く使用されている。 -高純度単結晶シリコン材料 BW-MDシリーズ単結晶シリコンチップは超高純度単結晶シリコンを採用しており、市場で一般的に使用されている複合シリコンや拡散シリコン材料より優れています。これにより、Beiweiは、この材料が世界でも数社の優れたセンサー会社によって独占されているというパターンも打ち破りました。 -ダブルビームMEMS設計 Beiwei BW-MDシリーズ単結晶シリコンセンサチップは、古典的なホイートストンブリッジ原理を採用していますが、革新的にブリッジ設計にデュアルホイートストンブリッジを採用し、ブリッジ上の「ダブルビーム」を実現しています。ダブルビームブリッジ回路は、ブリッジ抵抗の温度特性が相補的で、ブリッジ回路が自己発熱変化やノイズ干渉を受けた場合に自己補正を実現し、チップの耐干渉能力と長期安定性を大幅に向上させます。 -サスペンションMEMS構造 BW-MDシリーズ単結晶シリコン・センサー・チップは、すべて単結晶シリコンで作られており、センシング層とベース層はシリコン-シリコンで接合され、チップの静水圧特性を向上させています（従来のシリコン-ガラス接合よりもはるかに優れています）。同時に、センシング層とベース層の間に厚さμmの不活性材料のサスペンション層を追加することで、応力の影響を大幅に軽減し、絶縁特性を向上させています。