リニアポジショニングステージ XLS-1 original Series

圧電2軸単軸

Xeryon Linear Stage（XLS）は、ノイズのない超音波ピエゾモータによって駆動される正確なリニアステージです。 これにより、ナノメートル精度で迅速な位置決めが可能になります。 セルフロックピエゾモータは、電源が入っていないときにステージの位置を保持します。 その結果、エネルギー消費と発熱が大幅に削減されます。 内蔵エンコーダの分解能は1.5μm（= 1500nm）です。