高精度ポジショニングステージ XLS-1 Precision Series

リニア圧電真空対応

Xeryon Linear Stage（XLS）は、ノイズのない超音波ピエゾモータによって駆動される正確なリニアステージです。 これにより、ナノメートル精度で迅速な位置決めが可能になります。 セルフロックピエゾモータは、電源が入っていないときにステージの位置を保持します。 その結果、エネルギー消費と発熱が大幅に削減されます。 内蔵エンコーダの分解能は 310 nm です。