XY軸ポジショニングステージ

圧電2軸高精度

XY-XLSは、追加のアダプタープレートを使用することなく、互いに積み重ねられた2つのXLSステージで構成されています。 XY-XLSにより、ナノメートルの精度と再現性を備えた2 自由度での位置決めが可能です。 XLS 段の超音波駆動原理により、XY-XLSは寿命が長く、高速でノイズがなく、電源を切ったときの位置を保持します。 非常に低く一定の速度（µm/s）で移動することもできます。 これらの機能により、材料科学アプリケーション向けに最適な顕微鏡ステージまたはマルチDOFポジショナになります。 XY-XLSは真空中で使用でき、非磁性材料で作られています。