リニア圧電アクチュエータ

超音波式増幅

Xeryonの増幅ピエゾアクチュエータは、フレクシャマウントに取り付けられた単一のピエゾスタックで構成されています。 フレクチャーマウントは、ピエゾスタックのフリーストローク変位を増幅するレバーアームとして機能します。 これにより、単一のピエゾスタックの利点と大きな変位を組み合わせた超精密でコンパクトなアクチュエータが実現します。 当社のピエゾアクチュエータは、お客様の要件に応じてフレキシブルステージに組み込むことも可能です。