プレート状窒化アルミニウム

高熱伝導性

窒化アルミニウムセラミックスは、電気絶縁性と優れた熱伝導性を持つことから、放熱性が求められる用途に適しています。また、シリコンに近い熱膨張係数と優れた耐プラズマ性を持つことから、半導体製造装置用部品にも使用されています。 窒化アルミニウムセラミックスは、以下のような優れた特性を有しています。 機械的性質が良い。 曲げ強度がAl2O3やBeOセラミックスより高い。 耐熱性、耐食性に優れている。 熱伝導率が高く、電気絶縁性が高い。 多くの溶融塩にさらされた場合の優れた安定性。 少なくとも1500℃までの熱的安定性。 高温域まで良好な機械的特性を有する。 低熱膨張で熱衝撃に強い 特殊な光学的、音響的特性