ガスフィルター INC-P003

液体プロセスセラミック製

イノバセラは、セラミックスに関する深い専門知識とプロセス能力を駆使して、空孔率を精密に制御したセラミックスを製造しています。多孔質セラミックスは、化学物質の濾過や流体の分離に多く使用されています。 Innovaceraの多孔質セラミックの製品群は、酸化アルミニウムと炭化ケイ素から作られています。丈夫で均一な多孔質セラミックは、40～50％の開気孔率を持ち、曲がりくねった細孔構造を持ち、1～100ミクロンの細孔径があります。 多孔質セラミックの3大用途： スクライビングマシン用真空チャック、シリコンウェハー用真空チャックのような真空チャック。 吸着装置 懸垂台。 特に、LEDウエハーの処理のような半導体産業に広く使用されています。 微多孔質セラミックス製ワーキングディスクは、半導体ウェーハの各種製造工程における吸着・ベアリングの専用ツールで、薄化、ダイシング、洗浄、ハンドリングなどの工程に適用されます。 ディスコ、ADT、K＆S、アプライドマテリアルTSK、OKAMOTO、マイクロオートメーション、ロードポイントなど、日本、ドイツ、イスラエル、アメリカ、国内の機器に使用できます。