正確な真空度を維持することが重要な産業や研究分野において、高真空イオン化計は必要不可欠なツールとして登場しました。この高度な装置は、気体分子のイオン化を利用してチャンバー内の真空度を測定するように設計されています。先端セラミック製品のトップメーカーであるイノバセラは、研究所、工業用途、科学研究に不可欠な高真空イオン化ゲージを製造しています。
高真空電離ゲージの仕組み
高真空イオン化ゲージの核心は、特殊なチャンバー内でガス分子をイオン化することで機能します。このプロセスは、ガス分子がイオン化チャンバーに入り、加熱ワイヤーや電子ビームなどのイオン化手段を受けることから始まります。このイオン化プロセスにより、プラスイオンと自由電子が生成されます。プラスイオンは電子コレクターに引き寄せられ、自由電子は電流を発生させます。
測定値の解釈
イオン化室で発生する電流の大きさは、ガス分子の密度に直接関係し、真空度を反映します。一般的に、電流が大きいほど真空度が低い(圧力が高い)ことを示し、電流が小さいほど真空度が高い(圧力が低い)ことを示します。この正確な測定は、特定の真空度を維持することがプロセスの成功に不可欠なアプリケーションに不可欠です。
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