イオンソース用セラミック

プレート状管棒タイプ

C.イオン注入装置用アクセサリーとセラミックアクセサリーの使用例 1.イオン注入装置部品の場合 イオン注入装置付属品の応用例には、ベアリング、真空吸引カップ、静電チャック、ノズル、フィラメント、カソードモジュールなど、イオン注入装置の主要部品の製造が含まれます。セラミックアクセサリーは高硬度、高強度、高耐熱性であるため、イオン注入装置の性能と信頼性を向上させることができます。 2.半導体製造装置事例 イオン注入装置部品セラミックアクセサリーの半導体製造装置事例には、パッケージ基板、絶縁材料など、半導体製造装置を製造するための主要部品が含まれます。セラミックアクセサリーは優れた電気絶縁性と化学的安定性により、過酷な環境下でも半導体製造装置の長期安定稼働を実現します。