MEMS 煙ガスセンサーは、Si 基板ベースの MEMS 微細加工ホットプレートを使用し、ガスに敏感な材料は、導電性の低い金属酸化物半導体材料で、清浄な空気で使用されます。センサーがガス雰囲気にさらされると、空気中の検出されたガス濃度に応じて導電率が変化します。ガスの濃度が高いほど、導電率が高くなります。簡単な回路を使用して、ガス濃度の導電率の変化を出力信号に変換できます。
申し込み
主に家庭用および産業用の固定式またはポータブル式の煙探知器または警報器に使用されます。
特徴
MEMSテクノロジー、強固な構造
可燃性ガスに対する高感度
小型で低消費電力
迅速な対応と再開
シンプルな駆動回路、長寿命