MEMS NO2 ガスセンサーは、Si 基板ベースの MEMS 微細加工ホットプレートを使用しており、クリーンな空気で使用されるガス感応材料は低導電性の金属酸化物半導体材料です。センサーがガス雰囲気にさらされると、空気中の検出されたガス濃度に応じて導電性が変化します。ガスの濃度が高いほど、導電性が高くなります。簡単な回路を使用して、ガス濃度の導電性の変化を出力信号に変換できます。
申し込み
主に固定式またはポータブルの NO2 検出器や警報器に使用されます。
特徴
MEMSテクノロジー、強固な構造
NO2ガスに対する高感度
小型で低消費電力
迅速な対応と再開
シンプルな駆動回路、長寿命